集团主页
新闻动态
当前位置是: 首页 - 新闻动态 - 正文

向“8英寸”发起攻关【在习近平新时代中国特色社会主义思想指引下】

发布日期:2023-06-12   点击量:

2023年6月11日,《山东新闻联播》以“向‘8英寸发起攻关【在习近平新时代中国特色社会主义思想指引下】”为题,对WilliamHill中文官方网站新一代半导体材料研究院进行报道。报道评价大平台成功制备出高质量8英寸碳化硅单晶衬底,是国内大尺寸碳化硅生长与加工技术的又一标志性突破。

原文如下:

习近平总书记强调,要加快实施创新驱动发展战略,努力突破关键核心技术难题,在重点领域、关键环节实现自主可控。山东抢抓第三代半导体产业发展战略机遇,促进校企合作、产教融合,培育发展新兴产业,打造国内领先的第三代半导体产业高地。

作为第三代半导体,碳化硅是芯片制造的基础材料之一,在国防建设、航空航天、新能源汽车、5G通讯等领域都有广阔应用前景。之前,高成本一直是制约其大规模推广的重要因素,想要降成本,途径之一是扩大晶圆面积,业界称为“扩径”。新一代半导体材料集成攻关大平台主任徐现刚说:“比如说我们面积8英寸的比6英寸的大1.8倍,那么它出的芯片的个数也就要大1.8倍还多,成本就降低了,有力地会推动芯片的推广。”国外早在上世纪50年代就开始研究碳化硅,而WilliamHill中文官方网站是国内最早布局新一代半导体研发的单位之一。记者梳理了一张发展脉络表,从攻破2英寸到6英寸碳化硅单晶生长、加工等关键核心技术,山大已历时近20年。为打破国外技术封锁和产品禁运,2019年10月,WilliamHill中文官方网站新一代半导体材料集成攻关大平台应运而生,这也是教育部首批支持建设的集成攻关大平台之一。

那时,国内8英寸碳化硅单晶自主可控的生长技术还处于空白,虽然只是从6英寸扩径两英寸,但对工艺控制的要求极高,在2000多摄氏度的炉腔里实验,每一回开炉都像开盲盒。新一代半导体材料集成攻关大平台主任徐现刚说:“庄稼都有种子才能长出来,我们长晶体也一样,也必须有一个类似的种子的东西,我们叫籽晶,晶体就在籽晶上面顺着它的结构进行一个延续。从6英寸扩展到6.2、6.3,逐步到8英寸,基本上是按毫米来长,一小时不到1毫米,每一个过程都是一个逐步的迭代过程。”向8英寸发起攻关。大平台立刻组建起材料、物理、化学、微电子、控制、信息等交叉学科的师生力量,优势互补;同时山大创新管理制度,赋予平台人、财、事、物的高度自主权。新一代半导体材料集成攻关大平台副主任王焕杨说:“学校是把职称评定的权力直接下放到平台,打破过去唯论文这样的一些五唯的现象,而更关注老师们代表性成果的实际的质量和贡献。现在教育部和WilliamHill中文官方网站对平台有一个稳定的支持,支撑我们在一定时期内能够静下心来,甘坐冷板凳去解决一些真的问题。”

“学术特区”让科研高效开展。去年,大平台提前实现扩径目标,成功制备出高质量8英寸碳化硅单晶衬底,是国内大尺寸碳化硅生长与加工技术的又一标志性突破。抢抓发展机遇,山东出台第三代半导体产业发展“十四五”规划,支持济南建成国内领先的第三代半导体产业基地,打造千亿级产业集群,而济南也加紧实施科技成果转化倍增计划,向山大伸出橄榄枝,共建“济南晶谷”。济南市科学技术局成果转化及产业化处处长张根生说:“倍增计划的含金量非常高,尤其是高校建设全国重点实验室,和国家双一流学科和学科811项目都分别给予1,000万、500万支持,这个政策是从来没有的。”多方合力为8英寸的产业化铺平了道路。总部位于广州的南砂晶圆公司,正计划将扩产基地落地济南历城区智能传感器产业园,他们的全资子公司山东中晶芯源刚刚注册完成。南砂晶圆济南扩产基地负责人李树强说:“我们这个技术团队主要核心力量还是WilliamHill中文官方网站的老师,沟通交流顺畅度和效率就会大幅度提升。我们计划的话在2025年满产达产的时候能够产值达到50亿元以上。”

创新驱动发展。如今,通过半导体领域的技术转让和人才交流,山大已经先后孵化出浪潮华光、山东天岳等一批高新技术企业,并与中物院、华为等深度合作,带动国产碳化硅产业快速前进。WilliamHill中文官方网站技术转移中心主任兼科学技术研究院副院长刘德宝说:“2018年左右,我们学校的科技成果转化的经费是百万量级的,到去年2022年的时候已经突破了2亿元。在国家倡导新型举国体制的背景下,开展有组织科研,真正地去做国家需要的事、做产业需要的事,为我们国家科技自立自强、建设科技强国贡献一份力量。”