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HVPE-GaN生长系统

发布日期:2023-09-12   点击量:

仪器介绍:HVPE生长系统是自主研发的一台功能强大,耐用,可靠的气相外延生长系统,适用于大尺寸、高质量商业化GaN的同质/异质外延生产。内置新一代控制系统和多温区加热系统,支持配方功能,方便工艺参数调用及储存,设备结构简单,操作方便,实用性强,能够满足大规模体块GaN的商业化生产需求。

存放地点:平台209

是否开放共享:否

名称:HVPE-GaN生长系统

型号:HVPE-W1

主要参数:设备尺寸:1100×5000×1850 mm

负责人:张雷

联系人:王国栋

联系方式:1786290931