仪器介绍：HVPE生长系统是自主研发的一台功能强大，耐用，可靠的气相外延生长系统，适用于大尺寸、高质量商业化GaN的同质/异质外延生产。内置新一代控制系统和多温区加热系统，支持配方功能，方便工艺参数调用及储存，设备结构简单，操作方便，实用性强，能够满足大规模体块GaN的商业化生产需求。
存放地点：平台209
是否开放共享：否
名称：HVPE-GaN生长系统
型号：HVPE-W1
主要参数：设备尺寸：1100×5000×1850 mm
负责人：张雷
联系人：王国栋
联系方式：1786290931
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