仪器介绍：感应式PVT AlN生长系统主要由真空系统、加热系统、运动系统和操作控制系统组成，是自主研发的感应式加热炉，具有高稳定性、高真空度和精确控制系统的AlN晶体生长系统，适用于商业化批量生长大尺寸AlN晶体，可实现AlN晶体的同质和异质外延生长。该设备可实现自动和手动模式切换，配有快速、慢速运动系统和精确的控压系统，操作方便，设备稳定，能够满足批量生长AlN晶体的要求。
存放地点：平台207
是否开放共享：否
名称：AlN晶体生长炉
主要参数：设备尺寸：3100×2100×2500 mm
负责人：张雷
联系人：王国栋
联系方式：1786290931
