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AlN晶体生长炉

发布日期:2023-09-12   点击量:


仪器介绍:感应式PVT AlN生长系统主要由真空系统、加热系统、运动系统和操作控制系统组成,是自主研发的感应式加热炉,具有高稳定性、高真空度和精确控制系统的AlN晶体生长系统,适用于商业化批量生长大尺寸AlN晶体,可实现AlN晶体的同质和异质外延生长。该设备可实现自动和手动模式切换,配有快速、慢速运动系统和精确的控压系统,操作方便,设备稳定,能够满足批量生长AlN晶体的要求。

存放地点:平台207

是否开放共享:否

名称:AlN晶体生长炉

主要参数:设备尺寸:3100×2100×2500 mm

负责人:张雷

联系人:王国栋

联系方式:1786290931